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1、对于故障分析而言,微光显微镜(Emission Microscope,EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。
2、主要侦测IC内部所放出光子。
3、在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination会放出光子(Photon)。
4、举例说明:在P-N结加偏压,此时N阱的电子很容易扩散到P阱,而P的空穴也容易扩散至N然後与P端的空穴(或N端的电子)做EHP Recombination。
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